THE EFFECT OF DEPOSITION TIME OF He-CH4TOSURFACE ROUGHNESS ON AISI 410 STEEL SURFACE

Abstract

Penelitian ini bertujuan untuk mengetahui pengaruh waktu pendeposisian He-CH₄(helium-metana) pada permukaan baja AISI 410 terhadap angka kekasaran permukaan. Proses pendeposisian He-CH₄ dapat dilakukan dengan plasma chemical vapor deposition (plasma CVD). Campuran gas He-CH₄ dideposisikan di permukaan baja AISI 410 menggunakan temperatur 300 °C dan tekanan 2 mbar. Variasi waktu pendeposisian yaitu 1, 2, 3, 4, dan 5 jam. Perbandingan campuran gas He-CH₄ adalah 76% He dan 24% CH₄. Pengujian angka kekasaran permukaan menggunakan instrumen pengukur kekasaran permukaan Surfcom 120A. Berdasarkan hasil pengujian angka kekasaran permukaan didapatkan bahwa terjadi peningkatan angka kekasaran permukaan diawal pendeposisian. Angka kekasaran raw material sebesar 0,04 μm meningkat menjadi 0,1 μm setelah 2 jam pendeposisian. Penambahan waktu pendeposisian setelah melewati 4 jam menurunkan angka kekasaran menjadi 0,05 μm. Penambahan waktu pendeposisian menyebabkan permukaan lapisan menjadi halus dan rata.