THE EFFECT OF DEPOSITION TIME OF He-CH4TOSURFACE ROUGHNESS ON AISI 410 STEEL SURFACE

  • Wahyu Anhar
  • Viktor Malau
  • Tjipto Sujitno

Abstract

Penelitian ini bertujuan untuk mengetahui pengaruh waktu pendeposisian He-CH4(helium-metana) pada permukaan baja AISI 410 terhadap angka kekasaran permukaan. Proses pendeposisian He-CH4 dapat dilakukan dengan plasma chemical vapor deposition (plasma CVD). Campuran gas He-CH4 dideposisikan di permukaan baja AISI 410 menggunakan temperatur 300 °C dan tekanan 2 mbar. Variasi waktu pendeposisian yaitu 1, 2, 3, 4, dan 5 jam. Perbandingan campuran gas He-CH4 adalah 76% He dan 24% CH4. Pengujian angka kekasaran permukaan menggunakan instrumen pengukur kekasaran permukaan Surfcom 120A. Berdasarkan hasil pengujian angka kekasaran permukaan didapatkan bahwa terjadi peningkatan angka kekasaran permukaan diawal pendeposisian. Angka kekasaran raw material sebesar 0,04 μm meningkat menjadi 0,1 μm setelah 2 jam pendeposisian. Penambahan waktu pendeposisian setelah melewati 4 jam menurunkan angka kekasaran menjadi 0,05 μm. Penambahan waktu pendeposisian menyebabkan permukaan lapisan menjadi halus dan rata.

Author Biographies

Wahyu Anhar
Program Studi Alat Berat Jurusan Teknik Mesin Politeknik Negeri Balikpapan
Viktor Malau
Jurusan Teknik Mesin Fakultas Teknik Universitas Gadjah Mada
Tjipto Sujitno
Pusat Sains dan Teknologi Akselerator (PSTA) -BATAN Yogyakarta
Published
2017-01-31
How to Cite
ANHAR, Wahyu; MALAU, Viktor; SUJITNO, Tjipto. THE EFFECT OF DEPOSITION TIME OF He-CH4TOSURFACE ROUGHNESS ON AISI 410 STEEL SURFACE. ROTOR, [S.l.], v. 9, n. 1, p. 12-14, jan. 2017. ISSN 2460-0385. Available at: <https://jurnal.unej.ac.id/index.php/RTR/article/view/3982>. Date accessed: 21 nov. 2019.
Section
Articles